整機規格：6層1200mm(W)×960mm(D)×1720mm（H）
8層 920mm(W)×1030mm(D)×1720mm（H）
電極規格：6層平板式電極板（383mm×317mm）
8層平板式電極板（420mm×360mm）
電源系統：5KW等離子體發生源（40KHz，可選13.56MHz）
控制系統：觸摸屏+PLC自動控制
進氣系統：2—5路工作氣體可選：Ar2、N2、H2、CF4、O2
特 點：高精度，快響應，良好的操控性和兼容性，完善的功能和專業的技術支持
用 途：適用于印制線路板行業，半導體IC領域，硅膠、塑膠、聚合體領域，汽車電子行業，航空工業等。
1、印制線路板行業：高頻板表面活化，多層板表面清潔、去鉆污，軟板、軟硬結合板表面清潔、去鉆污，軟板補強前活化。
2、半導體IC領域：COB、COG、COF、ACF工藝，用于打線、焊接前的清洗
3、硅膠、塑膠、聚合體領域：硅膠、塑膠、聚合體的表面粗化、刻蝕、活化
